XS-Series

  • Speziell für den für den Halbleitermarkt
  • Hochgeschwindigkeits-Inline AXI-Plattform mit minimalem Platzbedarf
  • Hoher Schrägwinkel
  • Strahlungsfilter
  • Mikrofokus-Röntgenröhre (versiegelte Röhre / wartungsfrei)
  • Mehrfach programmierbares Bewegungssystem mit Linearantrieben
  • Digitaler CMOS-Flachbilddetektor
  • Automatische Graustufen- und Geometriekalibrierung

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Branchenführende AXI-Lösung für den Halbleitermarkt

Die Matrix XS-Series von Nordson mit Halbleitereinrichtung ist ein automatisches Inspektionssystem, die für die anspruchsvolle Hochgeschwindigkeitsinspektion von Halbleiterprodukten auf Stripes (Rollen) oder in Jedec-Behälter (z. B. überlappende Drähte oder dichte Drahtbereiche).

Folgenden Einstellungen sind möglich:

  • Hochauflösende Einstellung mit 2,5-3 μm/Pixel Auflösung
  • Ultrahochauflösende Einstellung mit 0,8 μm/Pixel Auflösung

Vier Technologien in einem System

Die AXI-Systemlösungen von Nordson bieten ein modulares Inspektionskonzept.

Das System bietet vier Technologien in einem:

  • Transmission-Röntgenbildgebung (2D) mit patentierter Slice-Filter-Technique (SFT)
  • Off-Axis Technologie (2,5D)
  • 3D SART (Simultaneous Algebraic Reconstruction Technique)

Verfügbare Konfigurationen

Erhältlich ist die X-Series in den folgenden Konfigurationen:

  • XS-2: 2D + SFT
  • XS-2.5: 2D + SFT + Off-Axis (2.5D)
  • XS-3: 2D + SFT + Off-Axis (2,5D) + 3D SART

Automatisierung und Linienkonzepte

Neben Einzelkomponenten können wir für Sie die Projektierung und Realisierung Ihrer Fertigung übernehmen.

Über 90 % unserer Kunden entscheiden sich bei uns für einen Kauf einer kompletten Linie.
Das hat mehrere entscheidende Gründe:

  • Komplette Linienlösung aus einer Hand
  • Langjähriges Knowhow
  • Effiziente Liniensteuerung mit smart.e.connect & smartControl
  • MES Anbindung
  • Materialmanagement
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Gratis Beratung anfordern

Unsere Spezialisten stehen Ihnen gerne bei Beratungen zu den verschiedenen Fertigungsprozessen oder komplette Linienlösungen zur Seite.